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Soporte vertical sin deslizamiento

La presente invención se refiere a un soporte vertical para soportar una pluralidad de obleas semiconductoras en una relación paralela separada, sustancialmente horizontal, el soporte vertical conteniendo: a) medios de soporte vertical y b) una pluralidad de medios de soporte horizontales verticalmente separados que se extienden substancialmente en forma horizontal desde los medios de soporte vertical para definir una pluralidad de niveles de soporte para soportar las obleas, en donde los medios de soporte horizontal son proyecciones, cada proyección comprendiendo un brazo que termina en una plataforma de oblea de tal manera que el contacto más interno entre por lo menos una plataforma de oblea de cada nivel de soporte y su oblea soportada está en la región de entre 20 por ciento y 80 por ciento del radio de la oblea, medido desde el borde de la oblea, y en donde el brazo se proyecta a una inclinación ascendente continua y termina en la plataforma de oblea.

Palabras clave: medios de soporte oblea soportada est horizontales verticalmente soporte oblea

Nombre del Agente: OSCAR M. BECERRIL; Thiers No. 251 Piso 12, Anzures, 11590, Miguel Hidalgo, Distrito Federal

Titular: SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC.

Prioridad:US 4359311995-05-05 5061997/05/29,

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Deposito en:México
Solicitud:PA/a/1997/008506
Presentacion:04/11/1997
Tipo de Documento:Patente
Concesión:12/06/2002
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